在线式石墨舟装卸片机
授权
摘要
本实用新型公开了在线式石墨舟装卸片机，包括机架、石墨舟传送机构、石墨舟横移机构、石墨舟定位机构、插片机构、硅片定位缓存机构、硅片输送机构、硅片缓存机构、夹片机构、伸缩机构、升降机构a、花篮输送机构和花篮切换机构。本实用新型中，该在线式石墨舟装卸片机可以提升整体速度，提高对硅片生产精准度，降低硅片的碎片率，节省人力、提高经济效益。
基本信息
专利标题 ：
在线式石墨舟装卸片机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020781306.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-12
授权号 ：
CN211788948U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
宁佐强何鹏莫计亨
申请人 ：
无锡尚品高自动化设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区旺庄街道城南路207-1号
代理机构 ：
上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
丁剑
优先权 ：
CN202020781306.6
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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