在线式石英舟装卸片机

授权

摘要

本实用新型公开了在线式石英舟装卸片机，包括机架、左人工放置位、右人工放置位、工作位、花篮工作平台、花篮插片机构、花篮硅片校正机构、插片机构、石英舟传送机构、石英舟插片机构、石英舟硅片校正机构、石英舟搬运机构和石英舟缓存机构，所述花篮工作平台包括手拉滑块式机构，所述手拉滑块式机构上设置有横移模组和限位机构；所述花篮插片机构包括升降模组，所述升降模组上设置有导轨滑块机构，所述导轨滑块机构上设置有多道插机构a。本实用新型中，该在线式石英舟装卸片机能大大提高硅片进行装入、卸出石英舟的速度与效率，且自动切换石英舟的进入和输出主设备，从而节省人力，提高准确率，显著降低碎片率，提高经济效益。

基本信息

专利标题：

在线式石英舟装卸片机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020781063.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-12

授权号：

CN211789066U

授权日：

2020-10-27

发明人：

宁佐强何鹏莫计亨

申请人：

无锡尚品高自动化设备有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区旺庄街道城南路207-1号

代理机构：

上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

丁剑

优先权：

CN202020781063.6

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/677