除尘式硅片扩散装卸片机
授权
摘要
本实用新型涉及装卸片机领域，尤其是除尘式硅片扩散装卸片机。该装卸片机包括双层机台、上水平输送机构、下水平输送机构、吹气机构、升降机构、水平辊道、吸盘、吸盘移动机构，所述双层机台由上下排列的两层台面固定组成，双层机台的上层台面上固定有上水平输送机构，双层机台的下层台面上固定有下水平输送机构，双层机台的上层台面底部固定有吹气机构。本实用新型通过上水平输送机构和下水平输送机构将硅片花篮在不同高度的流道上进行传送。通过升降机构配合吸盘，将硅片花篮进行上下移动，从而选择不同高度的流道。通过吹气机构吹除硅片上的污物。本申请提高了硅片花篮传送的效率，清除了硅片上的污物。
基本信息
专利标题 ：
除尘式硅片扩散装卸片机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022332231.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN213444937U
授权日 ：
2021-06-15
发明人 ：
闫善韵
申请人 ：
苏州林赛自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇钟塔路8号6幢1楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022332231.6
主分类号 ：
B65G47/52
IPC分类号 ：
B65G47/52 B65G47/90
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/52
在输送机之间转移物件或物料的装置，即卸料或供料装置
法律状态
2021-06-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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