本实用新型涉及一种晶体硅硅片扩散炉，包括：石英管腔体，其两端设置有载入、载出端开口，并具有气幕帘和机械端盖。石英管腔体载入端设置有驱动载入碳化硅桨叶的载入传动机构。载入碳化硅桨叶上放置有装载待扩散处理晶体硅片的石英舟。在石英管腔体内，载入碳化硅桨叶将石英舟放置在与之交错设置的载出碳化硅桨叶上。载出碳化硅桨叶由石英管腔体载出端的载出传动机构驱动。晶体硅片经扩散处理后，载出碳化硅桨叶从石英管腔体的另一端载出石英舟。从而构成一种双向装、卸晶体硅片的石英管式扩散炉，其硅片的载入和载出可同时、同方向完成，达到了结构简单、提高效率，降低成本等有益效果。