一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线

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摘要

本实用新型公开了一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线，包括平行设置的上料输送线和下料输送线，所述上料输送线和所述下料输送线一侧设置有装卸机器人，所述装卸机器人两侧设置有对称的丝杆，所述丝杆上均滑动设置有翻转装置，所述丝杆上方设置有龙门架，所述龙门架上滑动设置有移动架，所述移动架上设置有搬运装置，所述龙门架下方设置有对接交替轨道，所述对接交替轨道一侧设置有硅片反应装置。本实用新型结构合理、简单，操作便捷，能够对硅片进行快速有效的运输及处理。

基本信息

专利标题：

一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021189668.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-23

授权号：

CN212161776U

授权日：

2020-12-15

发明人：

董晓清安迪

申请人：

无锡市江松科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新区硕放工业集中区五期C20-2号地块

代理机构：

无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

曹慧萍

优先权：

CN202021189668.2

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677