硅片沉积用装置以及石英舟

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摘要

本实用新型公开了一种硅片沉积用装置以及石英舟，石英舟包括底支撑板；在底支撑板的上方与底支撑板连接的载物立板，载物立板具有在前后方向分别设置的前卡槽、后卡槽，每个前卡槽与一个后卡槽相对应，前卡槽的下侧壁和后卡槽的下侧壁中的至少一个向上倾斜或向下倾斜，前卡槽的上侧壁和后卡槽的上侧壁中的至少一个向上倾斜或向下倾斜，且彼此对应的前卡槽和后卡槽中，前卡槽的上侧壁所在的平面与后卡槽的上侧壁所在的平面不平行或不共面，前卡槽的下侧壁所在的平面与后卡槽的下侧壁所在的平面不平行或不共面。由此，通过设置在侧板上设置轻微错开的有一定倾斜角度的卡槽，从而可以良好地实现硅片的单面沉积，可以有效地避免产生绕镀的现象。

基本信息

专利标题：

硅片沉积用装置以及石英舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921895058.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-05

授权号：

CN210925970U

授权日：

2020-07-03

发明人：

李兵邓伟伟

申请人：

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区鹿山路199号

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司

代理人：

卢春燕

优先权：

CN201921895058.1

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L31/18 C23C16/458