一种用于硅片放置的石英舟

授权

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片放置的石英舟，主要涉及半导体封装领域。包括舟体，舟体包括石英上板、石英下板，石英上板与石英下板之间设有支撑柱，石英下板上设有多个滑杆，滑杆上滑动连接有调节板，调节板为两个且位于舟体长度方向的两端，两个调节板之间设有放置底板，调节板的底部与石英下板之间设有压缩弹簧，石英上板的底部设有连接板，连接板上水平的转动连接有转轴，转轴上固定有转轮，转轮上圆形阵列有多个不同长度的支杆，支杆与调节板的顶部相接触，石英上板的底部、放置底板的顶部的对应位置均设有硅片卡槽。本实用新型的有益效果在于：它能够调节舟体的大小以适应不同硅片的使用，保证硅片在加工过程中的稳定。

基本信息

专利标题：

一种用于硅片放置的石英舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922070984.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-25

授权号：

CN210722974U

授权日：

2020-06-09

发明人：

张凯周莉刘琦刘存志

申请人：

潍坊华光光电子有限公司

申请人地址：

山东省潍坊市高新区新城街道玉清社区金马路9号管芯净化厂房

代理机构：

济南诚智商标专利事务所有限公司

代理人：

王敏

优先权：

CN201922070984.1

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673