一种用于放置薄硅片的花篮
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于放置薄硅片的花篮，包括安装架，所述安装架的一侧内壁固定连接有多个导向杆，导向杆的圆周外侧活动连接有两个推动板，推动板的一侧固定连接有多个弹簧，且弹簧与安装架相固定，所述安装架的底部内壁固定连接有固定板，且固定板与导向杆相固定，所述固定板位于两个推动板之间，所述固定板与推动板之间均匀分布多个滑板，且滑板与导向杆滑动连接。本实用新型不仅能够通过移动板与推动板的配合使用，使硅片得到夹持，提高了装置的夹持效果，而且能够通过缓冲垫对硅片进行保护，提高了装置的防护效果，还能够通过固定柱方便工作人员通过机器设备移动安装架，提高了装置的便捷性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于放置薄硅片的花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123416578.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216563046U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
冯震坤王伟
申请人 ：
无锡京运通科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市惠山工业转型集聚区（北惠路）
代理机构 ：
无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
姬颖敏
优先权 ：
CN202123416578.X
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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