用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒
专利权的终止
摘要

本实用新型设计到一种硅片的生产技术,具体地说是一种用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒。按照本实用新型提供的技术方案,在盒体内设置毛刷,该毛刷的根部被固定在盒体内的底部,毛刷的刷毛部分伸出盒体的外面。盒体包括底面及位于底面四周的侧面,毛刷的底部位于盒体的底面及侧面围成的空间内。在盒体的一个侧面上设置用于安装除尘刷盒的安装孔。本实用新型可以提高产品合格率与生产效率。

基本信息
专利标题 :
用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820031193.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-01-29
授权号 :
CN201171054Y
授权日 :
2008-12-24
发明人 :
陈海聂志浩都宏伟
申请人 :
江阴浚鑫科技有限公司
申请人地址 :
214443江苏省江阴市镇澄路1011号
代理机构 :
无锡市大为专利商标事务所
代理人 :
曹祖良
优先权 :
CN200820031193.7
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18  H01L21/00  B08B1/02  
相关图片
法律状态
2017-03-22 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101708965764
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利号 : ZL2008200311937
申请日 : 20080129
授权公告日 : 20081224
终止日期 : 20160129
2014-03-26 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101699383271
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利号 : ZL2008200311937
变更事项 : 专利权人
变更前 : 浚鑫科技股份有限公司
变更后 : 中建材浚鑫科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214443 江苏省江阴市镇澄路1011号
变更后 : 214443 江苏省江阴市镇澄路1011号
2011-12-14 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101235506064
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利号 : ZL2008200311937
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江阴浚鑫科技有限公司
变更后 : 浚鑫科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214443 江苏省江阴市镇澄路1011号
变更后 : 214443 江苏省江阴市镇澄路1011号
2008-12-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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