本实用新型公开的用于铝材表面沉积类金刚石膜的装置，包括绝缘材料制的反应室，反应室与化学气相沉积的供气系统及真空系统相连通，在反应室内设有由陶瓷围成的封闭室和两块上下平行的电极，其中上电极位于封闭室中，其下表面紧贴封闭室的底板面，上电极与等离子体激发脉冲电源相连，下电极接地并固定在封闭室外的加热器上，加热器与反应室外的加热温控装置相连，在加热器的底部安装有用于调节上、下两电极间距的螺杆，供气管的喷嘴位于两平行电极间。该装置结构简单，使用方便。应用该装置可以实现在铝材表面涂覆类金刚石薄膜，大大提高了Al/DLC复合材料的表面硬度、耐腐蚀性和电绝缘性等综合性能。且成膜迅速，膜厚可达4－6μm而不脱落，结合牢固。