石墨片组件以及石墨舟

授权

摘要

本实用新型公开了石墨片组件以及石墨舟，其中，该石墨片组件包括石墨片本体，石墨片本体上具有用于放置硅片的放置空间，石墨片本体上设置有卡点组，卡点组用于支撑并定位硅片，卡点组包括多个卡点且至少包括：第一卡点，设置在放置空间的左右方向的一侧；第二卡点，设置在放置空间的左右方向的另一侧，在上下方向高于第一卡点；第三卡点，设置在放置空间的下部，且在左右方向位于靠近第一卡点的一侧；第四卡点，设置在放置空间的下部，且在左右方向位于靠近第二卡点的一侧，并且，在上下方向低于第三卡点。根据本实施例的石墨片组件，不仅能够牢固地支撑并定位硅片，且能够防止硅片从石墨舟掉片，以及至少一定程度上防止硅片绕镀。

基本信息

专利标题：

石墨片组件以及石墨舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021974138.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-10

授权号：

CN213459669U

授权日：

2021-06-15

发明人：

李时俊张勇邓金生王凯彭亚萍

申请人：

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司

代理人：

林明校

优先权：

CN202021974138.9

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L31/18