夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备，夹紧定位装置包括左右夹紧定位机构和前后夹紧定位机构，通过左右夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的左右两端进行夹紧定位，从而在第一方向上保证第一物体和第二物体的定位精度；通过前后夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的前后两端进行夹紧定位，从而在第二方向上保证第一物体和第二物体的定位精度。由于夹紧定位装置一次可以同时夹紧定位两个物体，因此，提高了石墨舟自动装卸设备的生产效率，从而能够满足产能日益增长的PECVD真空镀膜设备。
基本信息
专利标题 ：
夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921540379.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-17
授权号 ：
CN210945779U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
邓金生周宏业黎佐兴李时俊
申请人 ：
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号
代理机构 ：
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈贤荣
优先权 ：
CN201921540379.X
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 C23C16/458 C23C16/34
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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