硅片叠片快速分离装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片叠片快速分离装置，包括底座、硅片治具和吹气分离机构，所述硅片治具设置在底座上，所述吹气分离机构安装在底座上、且具有分别位于硅片治具相对两侧的两组；硅片依次叠片放置于所述硅片治具上，所述硅片治具连接顶升丝杆机构，所述顶升丝杆机构驱动叠设的硅片上升；所述吹气分离机构包括支撑座、均设置在该支撑座上的硅片检测传感器和吹气分离器；所述硅片检测传感器用于在硅片上升至目标位置时发出启动信号，所述吹气分离机构用于在接收启动信号后向顶层硅片和第二层硅片之间吹气。本实用新型的硅片叠片快速分离装置，配合吸料机械手使用时将第二片硅片和顶层硅片分离，确保硅片取料的稳定、有序进行。

基本信息

专利标题：

硅片叠片快速分离装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921526196.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-12

授权号：

CN211109921U

授权日：

2020-07-28

发明人：

张学强戴军张建伟罗银兵刘庆威

申请人：

罗博特科智能科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

李娅

优先权：

CN201921526196.2

主分类号：

B65G49/07

IPC分类号：

B65G49/07