本实用新型公开了一种硅片导片装置，硅片导向装置包括：底座，第一推拉机构、缓冲花篮、目标花篮和第二推拉机构，第一推拉机构、缓冲花篮、目标花篮和第二推拉机构沿导片方向依次设置于底座，第一推拉机构和第二推拉机构在底座上沿导片方向可移动；其中，缓冲花篮构造有沿导片方向延伸的缓冲插槽，目标花篮构造有沿导片方向间隔设置第一目标插槽和第二目标插槽，第二推拉机构具有延伸杆，第二推拉机构向目标花篮移动至预定位置时，延伸杆搭接于第一目标插槽和第二目标插槽。根据本实用新型实施例的硅片导片装置能够对硅片实现反向导片，且具有避免污染，提高工作的时效性等优点。