硅麦克风
授权
摘要

本实用新型提供一种硅麦克风,其包括外壳,所述外壳上具有一进音孔;基板,与所述外壳形成容纳腔,所述进音孔与所述容纳腔连通,所述基板的一表面具有一凹腔,所述凹腔具有开口;声学组件,位于所述容纳腔内,且设置在所述基板的表面,所述声学组件包括MEMS传感器,所述MEMS传感器覆盖所述开口,所述凹腔作为所述MEMS传感器的扩展后室,所述进音孔与所述MEMS传感器之间的区域作为所述MEMS传感器的前室。本实用新型优点是,在基板上形成凹腔,扩大了MEMS传感器的后室的容积,即后室的空气容积增大,自进音孔进入的声波更容易推动MEMS传感器的振膜运动,从而提高硅麦克风的灵敏度及信噪比,同时还能够提高硅麦克风的频响性能。

基本信息
专利标题 :
硅麦克风
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921532050.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-16
授权号 :
CN210579221U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
张永强唐行明梅嘉欣李刚
申请人 :
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
代理机构 :
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙佳胤
优先权 :
CN201921532050.9
主分类号 :
H04R19/04
IPC分类号 :
H04R19/04  
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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