一种管道监测装置
授权
摘要
本实用新型涉及管道检测技术领域，尤其涉及一种半导体制造设备的管道监测装置，连接流体传输管道，管道监测装置包括：一泄压阀，泄压阀的入口端通过一连接部件连接流体传输管道，泄压阀的出口端连接一储液桶，当流体传输管道内的压力高于一第一预设值时，泄压阀自动开启将流体传输管道内的流体排放到储液桶内储存。本实用新型技术方案的有益效果在于：提供一种管道监测装置，通过泄压阀调节流体传输管道内的压力，防止流体传输管道内的压力过高而发生爆管；管道监测装置的结构简单，安装方便，适用于多种机台的监测，具有较高适应性，降低机台附属设备成本。
基本信息
专利标题 ：
一种管道监测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921553275.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-18
授权号 ：
CN210860677U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
张明
申请人 ：
武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
俞涤炯
优先权 ：
CN201921553275.2
主分类号 ：
F17D5/02
IPC分类号 ：
F17D5/02 F17D5/00 F17D3/01 G01D21/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D5/00
保护装置或观测装置
F17D5/02
漏失的预防、检查和确定位置
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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