一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置，包括三氯化硼气源和水分分析仪，还包括稀释气源和采样系统，所述三氯化硼气源和所述稀释气源通过所述采样系统连接所述水分分析仪，所述采样系统包括第一管段、第二管段以及第三管段，所述第一管段的入口连接至所述三氯化硼气源，所述第二管段的入口连接至所述稀释气源，所述第一管段的出口和所述第二管段出口连接至所述第三管段的入口，所述第三管段的出口连接至所述水分分析仪的入口。本实用新型公开的稀释法测量三氯化硼中水分的装置，通过将三氯化硼进行稀释，再进行水分测试，然后根据稀释浓度计算三氯化硼稀释前的水分值，可以测试三氯化硼中较高浓度水分值。
基本信息
专利标题 ：
一种稀释法测量三氯化硼中水分的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921565590.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-20
授权号 ：
CN210604583U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
金向华魏入铎王新喜孙猛许军州
申请人 ：
苏州金宏气体股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区黄埭镇潘阳工业园安民路6号
代理机构 ：
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
姚惠菱
优先权 ：
CN201921565590.7
主分类号 ：
G01N33/00
IPC分类号 ：
G01N33/00 G01N1/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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