本实用新型涉及化工设备技术领域，具体为一种电子级三氯化硼的制备装置，包括反应器，所述反应器上固定安装有内管，且内管上设置有反应物进口，所述内管中固定安装有内灯管，且内管中固定安装有螺旋片，所述内管上设置有溢流口，且内管上固定安装有套筒，所述套筒上固定安装有外灯管，所述反应器上设置有采出口，且反应器上固定安装有循环管，所述循环管上固定连接有进液管和出液管；通过内管和套筒在光催化反应器中构成两道反应关卡，首先氢气和氯气进入到内管中由螺旋片构成的螺旋气道中，快速流动的过程中能够大面积的接受内灯管的照射，随后再进入到套筒中，保证余料反应完全，反应完成度较高。