双轴谐振扫描反射镜

授权

摘要

一种双轴谐振扫描反射镜，在其弹性支撑架上设置有反射镜本体；弹性支撑架包括两个彼此交叉的第一、第二弹性转轴；弹性支撑架下侧设置有两对永磁体；第一对永磁体设置在第一弹性转轴的两侧，第二对永磁体设置在第二弹性装置的两侧；驱动系统包括四个音圈驱动器，与所述两对永磁体一一对应，音圈驱动器产生的磁场与永磁体的磁场相互作用，使得反射镜本体产生谐振，产生角度扭转；角度测量反馈系统包括激光发生器和位敏探测器测量组件；激光发生器产生用于照射到所述反射镜本体的背面的激光，位敏探测器测量组件检测由反射镜本体的背面所反射的激光；通过所反射的激光在位敏探测器测量组件的位置变化可以得到反射镜本体的二维角度变化。

基本信息

专利标题：

双轴谐振扫描反射镜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921589055.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-24

授权号：

CN210803864U

授权日：

2020-06-19

发明人：

杨志刚胡浩军

申请人：

北京辰阳自动化科技有限公司

申请人地址：

北京市通州区新华北街117号33栋320室

代理机构：

北京京万通知识产权代理有限公司

代理人：

齐晓静

优先权：

CN201921589055.5

主分类号：

G02B26/10

IPC分类号：

G02B26/10 G01B11/26