一种半导体清洗处理箱体夹持工装

专利申请权、专利权的转移

摘要

一种半导体清洗处理箱体夹持工装，属于半导体清洗处理技术领域，包括固定架和横向伸缩缸，所述固定架下方固定安装有水平的固定板，所述固定板后侧与横向伸缩缸缸体固定连接，固定板前侧通过滑动机构与横向伸缩缸缸轴固定连接，所述横向伸缩缸缸轴通过固定柱固定安装有后板，所述后板固定安装有后夹持架，所述固定板前端固定安装有前夹持架，所述前夹持架和后夹持架与夹持箱体形状相匹配。前夹持架和后夹持架通过横向伸缩缸提供动力，实现对箱体的夹持，结构简单，造价低廉，夹持紧固、稳定，实现高效稳定的自动化清洗处理，提高作业效率，降低成本。

基本信息

专利标题：

一种半导体清洗处理箱体夹持工装

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921592804.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-23

授权号：

CN210349788U

授权日：

2020-04-17

发明人：

石坚李杰于友朱棣

申请人：

山东九思新材料科技有限责任公司

申请人地址：

山东省济宁市泗水县经济开发区泉济路23号

代理机构：

济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

曹媛媛

优先权：

CN201921592804.X

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

法律状态

2021-06-08 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20210526
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 山东九思新材料科技有限责任公司
变更后权利人 : 山东辰宇稀有材料科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 273213 山东省济宁市泗水县经济开发区泉济路23号
变更后权利人 : 272000 山东省济宁市泗水县苗馆镇二十里铺村

2020-04-17 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载