紫外光固化装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种紫外光固化装置，所述紫外光固化装置包括发光单元、光强检测单元以及与所述发光单元和所述光强检测单元分别连接的功率调节单元；所述发光单元提供UV光线，所述光强检测单元能够检测到所述UV光线的光强，所述功率调节单元根据所述光强检测单元检测到的所述UV光线的光强调节所述发光单元的功率，由此，调节所述UV光线的光强。能够对所述光强进行实时检测，及时的调整工艺参数，提高加工工艺的精度，以及能够避免人员对设备定期检查的危害。
基本信息
专利标题 ：
紫外光固化装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921603197.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-24
授权号 ：
CN211134521U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
贡禕琪
申请人 ：
上海华力微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN201921603197.2
主分类号 ：
B05D3/06
IPC分类号 ：
B05D3/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D3/00
涂布液体或其他流体的表面的预处理；已有涂层的后处理，例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理
B05D3/06
使受辐射
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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