一种抛光模修盘周期的检测装置
授权
摘要
一种抛光模修盘周期的检测装置，该装置包括光学检测组件、处理器、水平度测量组件。该装置的光学检测组件使用结构光对抛光模表面形貌进行探测，处理器通过接收的包含抛光模表面形貌信息的探测光，计算处理得到抛光模表面沟槽的深度和宽度信息，从而确定抛光模的修复周期，监测抛光模的维护时间节点。本实用新型具有结构简单，测量准确，反应迅速，实现对抛光模修盘周期的原位检测，保证抛光模表面的磨削活跃度，提高加工效率和加工质量。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光模修盘周期的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921616689.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN211163454U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
陈军邵建达张慧方吴伦哲杨明红吴福林秦豪杰
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区清河路390号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张宁展
优先权 ：
CN201921616689.5
主分类号 ：
B24B37/005
IPC分类号 ：
B24B37/005 B24B37/34 B24B49/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/005
研磨机床或装置的控制装置
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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