一种高纯度四氟化硅分离提纯设备

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摘要

本实用新型公开了涉及四氟化硅分离提纯设备技术领域，具体为一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，包括干燥除尘设备，干燥除尘设备呈L字形的管道结构，干燥除尘设备的左下端设置有贯穿内外的漏孔，漏孔的下端匹配安装有集尘盒，集尘盒的右端上表面一体设置有下方支撑滤板，下方支撑滤板的左侧面活动贴合有下方棉垫。本实用新型中设置有双重过滤杂质的棉垫，过滤杂质和去除湿气的效果较好，可提高四氟化硅的分离提纯纯度；本实用新型中集尘盒结构设计合理，集尘盒跟过滤除湿组件一体设置，方便拆装和清理，实用性强；本实用新型中集尘盒可快速进行拆装，方便使用，集尘盒可收集杂质和水，起到了提高四氟化硅的分离提纯纯度的作用。

基本信息

专利标题：

一种高纯度四氟化硅分离提纯设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921631223.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-28

授权号：

CN210855294U

授权日：

2020-06-26

发明人：

严江有燕如勇何学杨旺海

申请人：

福建瓮福蓝天氟化工有限公司

申请人地址：

福建省龙岩市上杭县蛟洋工业园区

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921631223.2

主分类号：

C01B33/08

IPC分类号：

C01B33/08