三氟化氮提纯装置
授权
摘要
本实用新型属于三氟化氮生产设备领域，具体涉及一种三氟化氮提纯装置，包括吸收罐、进气管、循环增压机、液化罐与气体收集罐，吸收罐内盛有氢氧化钠溶液，进气管插入氢氧化钠溶液内，吸收罐通过第一输气管连接循环增压机的进气口，循环增压机出气口通过第二输气管连接液化罐，液化罐的外侧壁上设有冷凝套，冷凝套上设有冷介质进口与冷介质出口，液化罐的底部设有出液口，出液口上设有出液阀，出液口通过第三输气管连接气体收集罐。本实用新型所述的三氟化氮提纯装置，可将三氟化氮产品中混有的四氟化硅气体和氮气分离，有效提高了三氟化氮产品的纯度。
基本信息
专利标题 ：
三氟化氮提纯装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220245494.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-30
授权号 ：
CN216677716U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
李兴虎白音努尔孙学建王建兵潘波王大兵张石磊
申请人 ：
乌兰察布南大微电子材料有限公司
申请人地址 ：
内蒙古自治区乌兰察布市集宁区商务科技文化中心B区5号楼101
代理机构 ：
青岛发思特专利商标代理有限公司
代理人 ：
张贤
优先权 ：
CN202220245494.X
主分类号 ：
B01D53/78
IPC分类号 ：
B01D53/78 B01D53/68 B01D5/00 C01B21/083
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/77
液相方法
B01D53/78
利用气—液接触
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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