本实用新型涉及一种清洁度冲洗及检测设备，包括机体，取样窗口的内部设置有检测滤膜、压力罐和清洗液罐，送风装置通过通风孔与清洗工作间相连接，送风装置和通风孔之间设置有HEPA过滤网，清洗液罐依次通过第三管线和第二管线与过滤系统相连接，清洗工作间的一侧设置有电控箱，检测滤膜通过第一管线与清洗工作间底部开设的溢流孔相连接。本实用新型设备集成压力喷射清洗、滤膜制样、清洗剂在线过滤回收和循环精滤于一体，压力喷射清洗可实现零件清洗与颗粒污染物过滤制样同步进行，配合镜面一体式清洗工作间，可及时将零件表面的颗粒污染物收集到检测滤膜表面，清洗零件结束后即可得到滤膜样本，减少颗粒污染物在清洗剂中滞留时间。