一种耐腐蚀电子气压传感器
授权
摘要
本实用新型属于传感器技术领域，尤其一种耐腐蚀电子气压传感器，包括底座、上盖和内腔，所述底座上方设置有上盖，所述上盖内部设置有内腔，所述内腔底部设置有硅衬底，所述硅衬底上方设置有背极板，所述背极板上方两侧均设置有二氧化硅，所述二氧化硅上方架设有硅薄膜，所述硅薄膜与背极板之间形成空腔；所述上盖上方开设有进气孔，所述进气孔内部设置有防水透气膜；本实用新型结构简单，通过设置的镀锌防腐表层和镀锌防腐底层，能够从上盖的表面和底面对上盖进行防腐操作，同时通过设置的防水透气膜，能够防止水汽进入到内腔，防止传感器内部组件受到水汽的侵蚀，提高防腐效果，增加传感器的使用效果和使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种耐腐蚀电子气压传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921704717.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-08
授权号 ：
CN210689914U
授权日 ：
2020-06-05
发明人 ：
王志
申请人 ：
上海路溱微电子技术有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区秀浦路2388号2幢504室
代理机构 ：
北京卓特专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
段宇
优先权 ：
CN201921704717.9
主分类号 ：
G01L19/00
IPC分类号 ：
G01L19/00 G01L19/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L19/00
用于测量流动介质的稳定或准稳定压力的仪表的零部件或附件，就这些零部件或附件而论不是特殊形式的压力计所专用的
法律状态
2020-06-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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