本实用新型公开了一种高纯正硅酸乙酯提纯装置，包括蒸发塔、再沸器和冷凝器；蒸发塔上设置有进料口、送料口、回料口、出料口和冷凝回流口；再沸器上设置有送料入口、回料出口、蒸汽入口和蒸汽出口；冷凝器上设置有气体物料入口、成品出口、循环水入口和循环水出口；送料口经管路连接到送料入口，回料口经管路连接到回料出口，出料口经管路连接到气体物料入口，成品出口设置有第一成品管路和第二成品管路。本实用新型可以实现工艺简单化，只需要增加类似精馏塔装置的蒸发塔即可实现纯度的进一步提升，不但能节省成本，降低能耗，而且能起到精馏塔精馏的效果，在后续的生产操作中也是极为方便。