一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统，其包括氢气气源、冷凝罐和回收罐，氢气气源分别通过调压管与精馏单元的粗滤硅烷储罐、尾气回收单元的尾气精馏塔和尾气粗分塔、还原单元的还原粗分塔的充压口连通，在调压管上装设有调压控制阀；粗滤硅烷储罐、尾气精馏塔、尾气粗分塔、还原粗分塔的排气口分别通过排气管与冷凝罐的进料口连通，在排气管上装设有排气控制阀。优点：采用氢气代替氮气加压，加压气体无需排空，而是通过尾气回收系统对氢气进行回收利用，避免工艺气浪费，降低成本；减少氮气消耗，同时可解决氮气加压带来的产品品质降低的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921714981.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-12
授权号 ：
CN210825441U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
黄俊刘金鹏虎登慧韩继文
申请人 ：
内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司
申请人地址 ：
内蒙古自治区鄂尔多斯市鄂托克旗棋盘井镇工业园区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921714981.0
主分类号 ：
C01B33/027
IPC分类号 ：
C01B33/027 C01B33/107
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
硅
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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