一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备
授权
摘要
本实用新型公开了一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备，它包括：沉积组件，所述沉积组件包括依次连接的第一L/L腔室、第一本征I层沉积腔室、P型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第一转换腔室、第二本征I层沉积腔室、N型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第二转换腔室、PVD腔室以及第二L/L腔室，各腔体之间采用真空锁结构连接；输料组件，所述输料组件用于硅片的进料和出料，包括安装在所述沉积组件两端以及其各腔体内的输料单元。通过在沉积组件的两端以及其各腔体内安装输料单元，能够实现硅片的自动化进料和出料，从而提高了其自动化程度和生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921721310.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-15
授权号 ：
CN210945780U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
宋银海姚飞贾银海钱锋埃尔詹·英马兹
申请人 ：
苏州帕萨电子装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市太仓市城厢镇锦州路18号2幢
代理机构 ：
苏州根号专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
项丽
优先权 ：
CN201921721310.7
主分类号 ：
C23C16/54
IPC分类号 ：
C23C16/54 C23C16/24 C23C14/56 C23C14/08 C23C14/34 H01L31/20
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/54
连续镀覆的专用设备
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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