一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备，包括激光修复腔室及硅片传输平台；激光修复腔室包括腔室外壳及设于腔室外壳顶部的红外激光器；红外激光器用于照射硅片以使硅片开槽处出现的不规则排列的晶格缺陷重新结晶，红外激光器的温度为100℃～500℃，红外激光器的功率为20W～100W；腔室外壳设有腔壳开口，硅片传输平台通过腔壳开口将硅片传输至激光修复腔室内部。采用本实用新型，可修复晶格缺陷，降低背面复合速率，提高光电转换效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于修复PERC太阳能电池的激光退火处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921739687.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-16
授权号 ：
CN210984748U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
沈永臻楼秀群徐义兰林纲正陈刚
申请人 ：
广东爱旭科技有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号(住所申报)
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
胡枫
优先权 ：
CN201921739687.5
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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