太阳能电池用的硅片处理方法
专利权的终止
摘要

一种太阳能电池用的硅片处理方法,自切割机将硅体或单晶硅棒体切割硅片的同时,就初步固定硅片与硅片之间的相对间隔;切割结束,采用夹片夹夹住保持相对间隔位置的全部硅片;将夹住全部硅片的夹片夹的整体从切割机上取下,进行清洗、腐蚀、再清洗或者换夹的全部处理过程。与在先技术的硅片处理方法相比,本发明的硅片处理方法缩短了处理过程。免去了几次一片一片地取出和装入间隔架以及装盒的处理过程,节省了人力物力,降低了硅片的破碎率和边角损坏率。能够允许硅片切割得更薄,大幅度地提高了生产效率和产值。

基本信息
专利标题 :
太阳能电池用的硅片处理方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101326628A
申请号 :
CN200580052230.1
公开(公告)日 :
2008-12-17
申请日 :
2005-11-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
袁建中
申请人 :
袁建中
申请人地址 :
200030中国上海市徐汇区蒲汇塘路163弄1号楼2701室
代理机构 :
上海开祺知识产权代理有限公司
代理人 :
李兰英
优先权 :
CN200580052230.1
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687  H01L21/304  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2012-01-11 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101168909852
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利号 : ZL2005800522301
申请日 : 20051107
授权公告日 : 20100203
终止日期 : 20101107
2010-02-03 :
授权
2009-02-11 :
实质审查的生效
2008-12-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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