一种太阳能电池硅片清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及到太阳能电池生产技术领域。是一种太阳能电池硅片清洗装置。其特征是在上料台上从右到左依序有预清洗槽、第一药剂清洗槽、第二药剂清洗槽、第三药剂清洗槽、中温清洗槽、第一纯水漂洗槽、第二纯水漂洗槽、第三纯水漂洗槽和高温清洗槽，上述每个漂洗槽和漂洗槽中都安有超声波清洗板；所述的上料台上有烘道、链条传送带，上料台下有回风口；上料台的左端有下料台，上料台的下端有送风口，风机与送风口连接。由于采用了本技术方案，增加了烘干机烘道长度，增加了5个烘干段，缩短为烘干作业节拍，释放烘干产能，提高硅片清洗机产能。
基本信息
专利标题 ：
一种太阳能电池硅片清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920566980.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-24
授权号 ：
CN209561351U
授权日 ：
2019-10-29
发明人 ：
张蒙罗威
申请人 ：
湖北华昶能源科技有限公司
申请人地址 ：
湖北省随州市曾都区洛阳镇何湾村银杏大道125号（湖北华昶能源科技有限公司）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920566980.X
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2019-10-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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