一种用于太阳能电池硅片清洗机
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种用于太阳能电池硅片清洗机,包括机壳设于机壳内的清洗槽,以及驱动机构,所述机壳的底部固定若干根支撑杆,机壳的底板上开设通孔,机壳的顶部开设供清洗槽上下活动的缺口;所述驱动机构安装于机壳上、并用于驱动清洗槽上下活动,所述清洗槽,包括槽体,安装在槽体内壁的超声振子以及槽体内的用于夹持硅片的夹持机构,所述夹持机构有若干个阵列排布的夹持单元组成,夹持单元包括导轨、两块夹持板,导轨上开设导向槽,导轨的两端分别设有弹性夹紧组件,两块夹持板对称设于导轨上,夹持板的底端通过与所述导向槽配合的滑块滑动连接于导轨。本实用新型结构简单,方便移动槽体,以便于取放硅片,提高清洗效率。

基本信息
专利标题 :
一种用于太阳能电池硅片清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020505518.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-09
授权号 :
CN211788931U
授权日 :
2020-10-27
发明人 :
陈兆民饶海峰沈传进孙小龙许天红张峰
申请人 :
金寨嘉悦新能源科技有限公司
申请人地址 :
安徽省六安市金寨现代产业园区金家寨路以西、笔架山路以南交叉口区域自建厂房
代理机构 :
合肥信诚兆佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
尉敏
优先权 :
CN202020505518.1
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-08 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20200409
授权公告日 : 20201027
终止日期 : 20210409
2020-10-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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