一种新型等离子清洗机的腔体清洗装置
授权
摘要
本实用新型属于离子清洗机技术领域，具体涉及一种新型等离子清洗机的腔体清洗装置，包括射频供电模块、匹配器和清洗腔；所述清洗腔包括腔体和位于所述腔体内的电极框架；所述射频供电模块的输出端接匹配器的输入端，所述匹配器的输出端接电极框架，所述腔体接地。本实用新型采用单层电极设计，将电极框架作为阳极电极，将腔体作为阴极电极，结构简单，易于清洗保养，降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种新型等离子清洗机的腔体清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921741297.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-17
授权号 ：
CN210701511U
授权日 ：
2020-06-09
发明人 ：
张春辉
申请人 ：
江苏胜辉半导体设备有限公司;张春辉
申请人地址 ：
江苏省徐州市经济技术开发区凤凰湾电子信息产业园A9号厂房
代理机构 ：
北京酷爱智慧知识产权代理有限公司
代理人 ：
邹成娇
优先权 ：
CN201921741297.1
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2020-06-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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