槽内加热模块
授权
摘要
本实用新型提供槽内加热模块。所述槽内加热模块包括设置在凹槽内的电加热器以及设置在所述电加热器周围的至少一金属弹性件，所述至少一金属弹性件与所述电加热器以及所述凹槽的侧壁相接触。本实用新型的槽内加热模块能有效降低电加热器表面温度，进而降低电加热器漏电流，并将传热方式从热辐射改变成热接触，且能改善热接触面积，增加传热效率；本实用新型能利用至少一金属弹性件的弹性而使电加热器热较自由地膨胀，不会使电加热器从凹槽内鼓出来。
基本信息
专利标题 ：
槽内加热模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921775465.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-17
授权号 ：
CN210467868U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
杨飞云
申请人 ：
理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰兴市高新技术产业开发区环溪路北侧
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921775465.9
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/0747 C23C16/513
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法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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