一种刻蚀设备内循环升温烘干结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种刻蚀设备内循环升温烘干结构，属于电池生产设备，包括工作台，所述工作台上放有待烘干的电池片，工作台上设有密封的罩壳,罩壳内安装有用于向电池片吹出热风的风刀，风刀上连接有送风管道，送风管道的进风口连通罩壳内部,送风管道的出风口与风刀相连，送风管道中间安装有高压风机，密封的罩壳可以使从风刀内喷出的热风留在设备内,从而不断提高设备内的温度,从而使进风口中进入的气体温度升高,在高压风机的作用下,气体温度进一步升高,形成温度更高的热风,从而在不增加成本、能耗的前提下，提高了烘干的温度，解决了现有技术中通过提高风机功率来升高烘干温度，导致能耗、成本增加的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种刻蚀设备内循环升温烘干结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921792345.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-23
授权号 ：
CN210778494U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
包君坚
申请人 ：
横店集团东磁股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市东阳市横店镇工业区
代理机构 ：
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 ：
尉伟敏
优先权 ：
CN201921792345.X
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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