一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器，属于传感器技术领域，该压力传感器从上到下依次由Parylene层、上导电层、下导电层及具有微纳结构的PDMS层组成，所述上导电层与下导电层通过导电银浆及导线连接，所述具有微纳结构的PDMS层由PDMS层及其上的微纳结构组成；本实用新型的柔性传感器，具有工艺简单、抗干扰能力强以及可大范围变形的优势；采用具有柱状微纳结构的PDMS层，可以实现对传感器灵敏度的增强以及调控；采用光刻的方式将导电层进行图案化，进而可以实现多通道的压力探测，提高了器件的感知密度；采用光刻的方式将导电层进行图案化，进而可以实现多通道的压力探测，提高了器件的感知密度。
基本信息
专利标题 ：
一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921803786.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN210400683U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
刘健朝徐淮良苏越李彩丽
申请人 ：
北京先智集成技术有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村南大街52号3号楼二层259号
代理机构 ：
长春吉大专利代理有限责任公司
代理人 ：
刘世纯
优先权 ：
CN201921803786.5
主分类号 ：
G01L5/00
IPC分类号 ：
G01L5/00 A61B5/024 A61B5/04 A61B5/11
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L5/00
适用于特定目的的力、功、机械功率或转矩的测量装置或方法
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
