分析盘面

授权

摘要

本实用新型公开了分析盘面，属于半导体技术领域。它包括进气管、调压阀、手动隔膜阀、流量计、气体水分测定仪本体，所述气体水分测定仪本体包括进气口和出气口，所述进气管的一端与进气口相连通，所述调压阀与进气管相连通。本实用新型首先打开调压阀，使被检测气体从气体纯化器内，依次经过进气管、进气口进入气体水分测定仪本体中，由第二支管上的压力表显示压力值，同时增加旁路，设置手动隔膜阀，流量计限流，当水分测定仪本体检测气体水份较高时，调节流量计，增大吹扫流量，加快管道吹扫速度，从而降低检测时间。

基本信息

专利标题：

分析盘面

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921805517.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-25

授权号：

CN211122759U

授权日：

2020-07-28

发明人：

江晓松

申请人：

上海先普气体技术有限公司

申请人地址：

上海市闵行区金都路4299号6号楼6224室

代理机构：

上海怡恩专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

周渭铭

优先权：

CN201921805517.2

主分类号：

G01N33/00

IPC分类号：

G01N33/00