激活盘面
授权
摘要
本实用新型公开了激活盘面，属于半导体技术领域。它包括底座和与底座顶部一侧相固定的固定板，固定板上固定安装有进气管，且进气管上连通有进气阀，且进气管上连通有进气阀，进气管上通过三通管连通有第一管路，第一管路一端端部连通有压力表，第一管路另一端端部通过四通管分别连通有三个第二管路，每个第二管路的端部分别连通有手动阀，每个手动阀的另一端分别连通有软管,底座上固定安装有纯化器本体。本实用新型主要采用多个并联激活的方式，来代替现有的单个激活方式，从而使得整个GC系列纯化器内部的物质的激活效率得到提高，另外每个纯化器还单独配置再生排气装置，保证了激活效果。
基本信息
专利标题 ：
激活盘面
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921804789.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN210692494U
授权日 ：
2020-06-05
发明人 ：
江晓松
申请人 ：
上海先普气体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区金都路4299号6号楼6224室
代理机构 ：
上海怡恩专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周渭铭
优先权 ：
CN201921804789.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 F17D1/02 F17D3/01
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-06-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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