一种真空插板开关阀
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空插板开关阀，包括控制系统、位置传感器、升降轴、阀门、密封圈、阀体、外支架、气缸二、楔形滑块、限位块、复位装置、楔形升降块、气缸一、导轨和内支架。本实用新型的真空插板开关阀具有三个不同的工作状态，即开启状态、关闭状态以及锁紧状态；当需要锁紧开关阀时，动作顺序为开启状态‑关闭‑锁紧；当需要开启开关阀时，动作顺序为锁紧状态‑关闭‑开启。本实用新型的真空插板开关阀具有结构紧凑，密封可靠性高的特点，可应用于半导体刻蚀真空反映腔的密封。
基本信息
专利标题 ：
一种真空插板开关阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921807612.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-25
授权号 ：
CN211820816U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
牛建新叶云霞戴峰泽任旭东
申请人 ：
托伦斯精密机械(上海)有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区合庆工业区东胜路308号2幢1楼B区
代理机构 ：
南京正联知识产权代理有限公司
代理人 ：
卢霞
优先权 ：
CN201921807612.6
主分类号 ：
F16K3/18
IPC分类号 ：
F16K3/18 F16K3/316 F16K31/12 F16K37/00 F15B21/08
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K3/00
闸门阀或滑阀，即带闭合元件的切断装置，闭合元件为了开启和关闭有沿阀座的滑动
F16K3/02
带有平的密封面；其所用填料
F16K3/16
带有把密封面分开或压在一起的特殊装置
F16K3/18
通过闭合元件的运动
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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