本实用新型公开了一种多晶硅片电阻率测试装置，其包括置物平台、驱动组件、拍摄组件、探针组件和电阻率测试组件，置物平台被配置为承载多晶硅片，驱动组件与置物平台相连，驱动组件能够驱动置物平台沿第一方向及第二方向运动，第一方向和第二方向呈夹角设置，拍摄组件位于置物平台上方，拍摄组件被配置为获取多晶硅片的图像，探针组件可升降地设在置物平台上方，探针组件包括四个探针，四个探针的尖端位于同一直线上，四个探针等距间隔分布且相邻两个探针的之间的间距为0.2mm‑0.4mm，电阻率测试组件与探针组件电连接。该多晶硅电阻率测试装置的测试结果较为准确，能够较为真实地反映硅片电阻率的情况。