纯化罐受热保护装置
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摘要

本实用新型公开了纯化罐受热保护装置,属于半导体技术领域。它包括包括纯化罐本体,所述纯化罐本体包括罐体、环形加热套,所述环形加热套固定套接在罐体四周侧壁上,所述罐体的顶部连通有纯化出气管,所述纯化出气管远离罐体的一端为水平端。本实用新型再生时,当纯化罐本体从常温加热至高温状态时,纯化罐本体受热沿轴向线性膨胀,整个纯化罐本体向下会顶着纯化进气管,向上会顶着纯化出气管,纯化进气管和纯化出气管的应力无法释放,此时将纯化进气管的一端和纯化出气管的一端均设为水平端,当纯化罐本体受热膨胀时,纯化出气管水平端和纯化进气管水平端都可以起到缓冲作用,从而保护纯化罐本体。

基本信息
专利标题 :
纯化罐受热保护装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921813948.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-25
授权号 :
CN211358771U
授权日 :
2020-08-28
发明人 :
江晓松
申请人 :
上海先普气体技术有限公司
申请人地址 :
上海市闵行区金都路4299号6号楼6224室
代理机构 :
上海怡恩专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
周渭铭
优先权 :
CN201921813948.3
主分类号 :
B01J19/00
IPC分类号 :
B01J19/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法,例如,催化作用或胶体化学;其有关设备
B01J19/00
化学的,物理的或物理—化学的一般方法;及其有关设备
法律状态
2020-08-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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