本实用新型涉及一种金属氧化物陶瓷材料的微波干燥设备，解决现有的金属氧化物陶瓷材料微波干燥设备微波功率不可控、功率密度不均匀的问题。本装置机架上设有谐振腔，谐振腔的底部前后两端相对设置有上料口和出料口，所述机架上还设有输送带，所述输送带由上料口向出料口从谐振腔的内部穿过，谐振腔通过波导管连接有微波功率源，所述波导管中段设有反射调节阀，反射调节阀的侧方设有功率吸收器。本实用新型微波功率可调，避免产品失水过快导致开裂，提高产品合格率和最终产品品质；改善了微波功率的均匀性，产品品质更加稳定；微波干燥过程中可以往谐振腔补充水蒸气，实现温干燥过程的湿度调节；采用机器人进出料自动化运行，使设备能并入流水线运行。