一种自动晶圆转换机台
授权
摘要
本实用新型公布了一种自动转换台，所述自动转换台包括：工作平台、真空吸盘、真空装置、真空吸盘伸缩机构和抓取装置，所述工作平台的表面设置有真空口，所述真空口贯穿所述工作平台，所述真空口通过管道连接所述真空装置，所述工作平台的正上方设置有所述真空吸盘，所述真空吸盘通过管道与所述真空装置连接，所述真空吸盘上设置有吸嘴，所述真空吸盘伸缩机构的伸缩端与所述真空吸盘固定连接，所述抓取装置设置在所述工作平台的一侧。使用真空装置及真空吸盘分离PCB板和晶圆，真空吸盘上具有吸嘴能够吸附晶圆，使分离过程中的晶圆的受力均匀，不会损减薄后的晶圆；其次机械作业使整个碳化硅板和印刷电路板的转换效率更高。
基本信息
专利标题 ：
一种自动晶圆转换机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921823689.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-28
授权号 ：
CN210535644U
授权日 ：
2020-05-15
发明人 ：
赵玉会翁佩雪吴恋伟邓丹丹林锦伟林伟铭
申请人 ：
福建省福联集成电路有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐剑兵
优先权 ：
CN201921823689.2
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-05-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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