一种硅片生产用底板丝杆移动底座
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种硅片生产用底板丝杆移动底座,包括箱体、丝杆和底板,所述丝杆通过安装板转动连接于箱体内,所述底板固定安装于箱体底部设置,所述箱体的外侧壁固定连接有横板,所述横板上通过连接柱固定安装有伺服电机,所述伺服电机的输出端固定连接有转动杆,所述转动杆贯穿箱体设置并延伸至其内部,所述转动杆与丝杆之间固定连接,所述转动杆位于箱体外的部分和横板上设有同一个清屑机构,所述丝杆上螺纹连接有安装块,所述底板内设有用于伺服电机降温的冷却机构。本实用新型通过冷却机构、清屑机构和除屑组件的配合,实现硅片生产中产生的碎屑进行清理,以及对驱动设备的冷却降温,延长了驱动设备的使用寿命。

基本信息
专利标题 :
一种硅片生产用底板丝杆移动底座
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921833383.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-29
授权号 :
CN210876576U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
刘滢
申请人 :
上海芯尚电子科技有限公司
申请人地址 :
上海市徐汇区漕宝路440号1幢569室
代理机构 :
北京久维律师事务所
代理人 :
邢江峰
优先权 :
CN201921833383.5
主分类号 :
B08B5/02
IPC分类号 :
B08B5/02  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/02
用喷气力来清洁,如吹清凹处
法律状态
2021-10-19 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B08B 5/02
申请日 : 20191029
授权公告日 : 20200630
终止日期 : 20201029
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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