本实用新型提供一种硅处理纯水清洗处理机构，包括：依次串联连接的第一清洗槽，第二清洗槽以及第三清洗槽；第一清洗槽，第二清洗槽以及第三清洗槽上端开口，将待清洗的硅片放入。第一清洗槽的进液孔，第二清洗槽的进液孔以及第三清洗槽的进液孔分别与输液管道连接。将清洗液通过输液管道传输到第一清洗槽，第二清洗槽以及第三清洗槽。并且第一清洗槽，第二清洗槽以及第三清洗槽的液位高度不同。第三清洗槽液位最高，其次是第二清洗槽，最低的是第一清洗槽。这样清洗液通过通孔依次流通，并由回液驱动泵驱动形成环流，提高清洗效果，保证清洗过程的清洗质量，去除硅片表面的杂质，避免对硅片的后续使用造成影响。