本实用新型提供一种硅处理碱洗装置，包括：回水箱，第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽；第一清洗槽，第二清洗槽和冲洗槽的上部设有吸风罩；回水箱的内部，第一清洗槽的内部，第二清洗槽的内部和冲洗槽的内部分别设有液位计和温度传感器；本实用新型可以根据硅材料的处理量设置相应的清洗槽，并对硅材料处理后，还可以进行清洗，提升处理后的效果。通常对硅材料处理采用碱性液体，在处理过程中，容易产生气体，本实用新型通过吸风罩及抽风机把产生的气体排出，避免影响的操作人员的身体。本实用新型通过设置鼓泡器产生鼓泡，能使碱液与内部硅片接触更加充分，实现高效冲洗反应。