一种基于人工金属微结构的气压传感器
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种基于人工金属微结构的气压传感器,涉及气压传感器技术领域,解决了现有的气压传感器大多需要电信号进行工作,很难在复杂电磁环境下使用的问题。其包括石英衬底,所述石英衬底上设有用于阻挡透射的金属铝反射层,金属铝反射层上方自下而上依次设有氧化铝介质层、二氧化硅层和悬浮金属铝膜;所述二氧化硅层为环形,所述悬浮金属铝膜上开设有纳米圆孔阵列,圆孔阵列位于二氧化硅层内孔的正上方,且纳米圆孔上皆覆盖有透明薄膜。其达到了能使用全光信号进行工作,可以在天然气等易爆气体中使用,适用性更广的效果。
基本信息
专利标题 :
一种基于人工金属微结构的气压传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921853843.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-31
授权号 :
CN210464770U
授权日 :
2020-05-05
发明人 :
周鹏郑改革花小敏邹秀娟
申请人 :
南京信息工程大学
申请人地址 :
江苏省南京市江北新区宁六路219号
代理机构 :
南京钟山专利代理有限公司
代理人 :
刘林峰
优先权 :
CN201921853843.0
主分类号 :
G01L11/02
IPC分类号 :
G01L11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L11/00
用不包括在G01L7/00或G01L9/00组中的方法的流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的计量
G01L11/02
应用光学方法的
法律状态
2021-07-06 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01L 11/02
登记生效日 : 20210624
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 南京信息工程大学
变更后权利人 : 南京华特莱思模塑有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 210044 江苏省南京市江北新区宁六路219号
变更后权利人 : 210000 江苏省南京市溧水区东屏工业园松岭路9号
登记生效日 : 20210624
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 南京信息工程大学
变更后权利人 : 南京华特莱思模塑有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 210044 江苏省南京市江北新区宁六路219号
变更后权利人 : 210000 江苏省南京市溧水区东屏工业园松岭路9号
2020-05-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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