逆止阀及半导体设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种逆止阀及半导体设备，逆止阀安装在排气管路上，包括阀腔及设置于阀腔内的阀芯，阀芯包括阀片及环形的承载座，所述承载座内设置有若干支撑柱，至少一个所述支撑柱与所述阀片连接，由于进口端和出口端之间存在压差，所述阀片会遮盖所述承载座的通孔，当真空泵停机时，在介质的驱动下，与所述阀片连接的支撑柱在所述承载座内垂向移动以使所述阀片迅速遮盖所述进口端，能够及时、快速的防止排气管路中的废气或副产物进入反应腔中，提高产品的良率；并且，由于阀片放置在支撑柱上，可以减少阀片和承载座之件的副产物堆积，支撑柱设置在承载座内，也不会附着副产物，可以避免阀片动作异常，延长逆止阀的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
逆止阀及半导体设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921864390.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN211010020U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
檀忠毅罗义波
申请人 ：
武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN201921864390.1
主分类号 ：
F16K15/08
IPC分类号 ：
F16K15/08 F16K27/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K15/00
单向阀
F16K15/02
带有导向的刚性阀元件
F16K15/08
形状如环
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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