本实用新型公开了一种半导体真空设备用逆止阀及半导体真空设备。半导体真空设备用逆止阀包括：阀体，其配置有进气口和出气口；阀芯，其配置有贯通孔，所述阀芯位于所述阀体内部，所述贯通孔的一端口与所述进气口相对布置，所述贯通孔的另一端口与所述出气口相对布置，所述阀芯的外壁与所述阀体的内壁之间形成连通所述进气口和所述出气口的通风间隔；阀片，所述阀片设置在所述阀体的内部，并用于在所述进气口处压力小于所述出气口处压力时遮挡住所述进气口。半导体真空设备用逆止阀在真空泵发生故障能够及时截断真空管路，以提高半导体真空设备使用可靠性。